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半导体知识:ETCH知识100问|163_手机网易网当圧力到达100mTD寺再以turbo pump 抽真空至1mT以下真空计的功能为何?答:侦测chamber的压力,确保wafer在一定的压力下process Transfer module 之robot 功用为何?答:将wafer传进chamber与传出台式扫描电镜SEM-30分辨率5nm,放大倍率20X~100.000X_纳米_图像_Lianxi真空系统:Turbo Molecular Pump 自动功能:Start,Focus,Filament,Brightness/contrast 操作系统:windows7 尺寸:400(W)x 600(L)x 550(H)mm 重量:90kg 台式扫描电镜SEM-30 具有电动控制的样品。
半导体人下产线必须知道的126个考题._网易订阅79、简述TURBO PUMP 原理答:利用涡轮原理,可将压力抽至10-6TORR 80、热交换器(HEAT EXCHANGER)之功用为何?答:将热能经由介媒传输,以达到温度控制之目地81、简述BACKSIDE HELIUM COOLING之Engineers and doctors develop heart pump for babiesHolding a prototype of the pump in his hand,Antaki explains that the walnut-sized device uses so-called turbo-dynamic technology to delicately circulate the baby's blood with a 。
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